PECVD( Plasma  Enhanced  Chemical Vapor  Deposition)等离子增强化学气相沉积，等离子体是物质分子热运动加剧，相互间的碰撞会导致气体分子产生电离，物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物。

  据测算，光在硅表面的反射损失率高达35%左右，减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率，有助于提高光生电流密度，进而提高转换效率，同时薄膜中的氢对于电池片表面的钝化降低了发射结的表面复合速率，减小了暗电流，提升了开路电压，提高了光电转换效率；在烧穿工艺中的高温瞬时退火断裂了一些Si-H、N-H键，游离出来的H逐步加强了对电池的钝化。

  由于光伏级硅材料中不可避免的含有大量的杂质和缺陷，导致硅中少子寿命及扩散长度降低，因此导致电池的转换效率下降，H能与硅中的缺陷或杂质进行反应，从而将禁带中的能带转入价带或者导带。

  PECVD  系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下，等离子发生器直接装在镀膜板中间发生反应。所用的活性气体为硅烷SiH4和氨NH3。这些气体作用于存储在硅片上的氮化硅。能够准确的通过改变硅烷对氨气的比率，来得到不同的折射指数。在沉积工艺中，伴有大量的氢原子和氢离子的产生，使得晶片的氢钝化性十分良好。

  在线摄氏度的环境和温度下，通过对石墨舟的导电，使硅片的表面镀上一层SixNy。

  Si3N4膜的颜色随着它的厚度的变化而变化，一般理想的厚度是7580nm之间，表现为深蓝色，Si3N4膜的折射率在2.02.5之间效果最好，通常用酒精来测其折射率。

  优良的表面钝化效果、高效的光学减反射性能（厚度折射率匹配）、低温工艺（大大降低成本）、生成的H离子对硅片表面钝化.

  膜厚。沉积时间的不同膜厚也是不一样的要根据镀膜的颜色来适当的增加或减少它的沉积时间，片子发白要减少沉积时间，如偏红则要适当的增加。每一舟片子要全面的确认，不允许把不良品流入到下道工序，如色斑、水印镀膜不良，应及时挑出

  产线最常见的表面发白、色差、白点，其中表面发白主要由于氮化硅膜较厚导致，可通过调节膜沉积时间来调整；色差片主要由于气路堵塞、石英管漏气、微波故障等导致；白斑主要由于前道小黑点导致。

  PECVD是太阳能电池片中较为重要的工序，也是体现一个企业太阳能电池片效率的一个重要指标，PECVD工序一般较忙，每一批电池片都需要监测，且镀膜炉管较多，每一管一般几百片（视设备而定），更改工艺参数后，验证周期较长。镀膜技术是整个光伏行业比较重视的技术，太阳能电池的效率提升能够最终靠镀膜技术的提升来实现，太阳能电池领域的科学家们也乐此不疲，未来太阳能电池表面技术或许有可能成为太阳能电池理论效率的突破口。

  连载文章欢迎查看更加多太阳能电池片科普系列：发电原理篇流程（电池片）篇工艺流程(硅片)篇制绒篇扩散篇刻蚀篇(镀膜)PECVD篇丝网印刷篇烧结篇组件封装篇多晶硅铸锭篇

  特别声明：北极星转载其他网站内容，出于传递更加多信息而非盈利之目的，同时并不意味着赞成其观点或证实其描述，内容仅供参考。版权属于原本的作者所有，若有侵权，请联系我们删除。

  1月5日，中来股份发布重要项目的投资进展公告，其中，16GW高效单晶电池智能工厂项目一期8GW已投产，二期8GW项目主要设备已安装，部分产线万吨高纯多晶硅项目已完成硅料项目公司的新设，硅料项目已取得山西省企业投资项目备案证，目前项目环境影响评估报告与节能评

  北极星太阳能光伏网获悉，1月5日，国家知识产权局公布一项名为“杂化异质结太阳能电池及电池组件和制备方法”的发明专利申请，公开号为CN117352566A，申请人为天合光能股份有限公司，申请日期为2023年12月4日。专利摘要显示，本申请提供了一种杂化异质结太阳能电池及电池组件和制备方法，包括半导体衬

  12月28日，江苏省发展改革委发布关于江苏超晶新能源科技有限公司10GW高效光伏电池项目（一期）节能报告的审查意见。原文如下：省发展改革委关于江苏超晶新能源科技有限公司10GW高效光伏电池项目（一期）节能报告的审查意见苏发改能审〔2023〕267号盐城市发展改革委：《关于上报江苏超晶新能源科技有限

  12月18日，浙江省科学技术厅公布2024年度浙江省“尖兵”“领雁”研发攻关计划项目立项清单公示文件，由正泰新能主导研发的项目“高效新型柔性钙钛矿薄膜光伏电池关键技术”，成功入选“领雁”研发攻关计划。“尖兵”“领雁”研发攻关计划由浙江省级财政资金设立，是面向世界科学技术前沿、面向经济主战场、

  据国家统计局数据统计，11月太阳能电池（光伏电池）产量5310.3万千瓦，同比增长44.5%；1-11月全国太阳能电池（光伏电池）产量累计值为49035.0万千瓦，同比增长56.2%。

  据江西省统计局数据，今年1至11月，全省规模以上工业增加值同比增长4.9%。分行业看，计算机、通信和其他电子设备制造业同比增长7.5%，电气机械和器材制造业同比增长14.0%，化学原料和化学制品制造业同比增长13.3%。分产品看，重点监测的432种主要工业产品中，新能源汽车、太阳能电池、集成电路同比分别

  在光伏产业链中，电池环节是驱动光伏技术进步的核心，也是促进行业持续降本增效的动力。纵观十年来的发展，不论是p型时代的一路赶超，还是n型时代的TOPCon、HJT和XBC百花齐放，光伏电池的技术迭代历程，同样是电池企业的发展史。台企的黄金时代在2015年以前，台湾太阳能电池企业“风光无两”，昱晶、茂

  12月22日，正奇光能20GW高效电池片项目（一期）投产仪式在安徽省马鞍山市正奇光能科技有限公司成功举行。马鞍山市委书记袁方，市委副书记、市长葛斌,市人大常委会党组书记、主任钱沙泉，市政协党组书记、主席吴桂林,市委常委、市委秘书长方文，市经开区党工委书记、管委会主任龚玉芝，市政府党组成员、

  今年以来，全省上下坚持以习新时代中国特色社会主义思想为指导，坚决贯彻落实党中央、国务院决策部署和省委、省政府工作安排，坚持稳中求进工作总基调，完整、准确、全面贯彻新发展理念，锚定高水平发展第一个任务不动摇，扎实推进“三个年”活动，坚持不懈稳增长、促振兴、防风险。11月份，随着各项

  12月19日，钧达股份发布了重要的公告称，公司下属公司近期收到政府补助款项合计20,000万元，该补助系与收益相关的政府补助，占上市公司2022年度经审计的归属于上市公司股东净利润绝对值的27.90%。公告表示，上述补助公司已实际收到，公司将冲减相关成本费用。

  12月15日，爱康科技发布公告，全资孙公司赣州爱康光电科技有限公司拟投建4.6GWHJT电池项目，计划固定资产总投资21亿元（除主设备外，土地、土建及机电设施等固定资产投资已全部完成），计划于2024年1月完成第一条HJT电池产线主设备进场。爱康科技通过苏州、赣州、湖州、舟山四个太阳能电池组件生产基地

  过去几年，新能源行业大红大紫，新兴技术眼花缭乱，从光伏行业的HJT、TOPCon、BC、钙钛矿，到锂电及储能行业的钠电、固态、液流、复合集流体、磷酸锰铁锂，等等。但是，站在这一轮新能源热潮回落的敏感节点，目前线”、获得产业化验证并实现大规模市场渗透的技术迭代非常少，N型TOPCon算

  在光伏产业链中，电池环节是驱动光伏技术进步的核心，也是促进行业持续降本增效的动力。纵观十年来的发展，不论是p型时代的一路赶超，还是n型时代的TOPCon、HJT和XBC百花齐放，光伏电池的技术迭代历程，同样是电池企业的发展史。台企的黄金时代在2015年以前，台湾太阳能电池企业“风光无两”，昱晶、茂

  从福莱蒽特未来技术研究院官微获悉，11月27日，杭州福莱蒽特未来技术研究院有限公司（简称“福莱蒽特研究院”）与中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司（简称“华能清能院”）签署合作协议。协议主要围绕福莱蒽特研究院与华能清能院在HJT、钙钛矿等新型光伏技术领域的合作，包括新型封装技术的权威

  在n型迭代浪潮中，TOPCon先行，今年已有密集项目落地，预计明年规模更为庞大，另一方面BC技术因其高效率、平台化等优势，闯入n型战局。作为n型技术的另一条代表路线，异质结怎么样应对两者的夹击，企业又将如何坚定信心，推动异质结产能、效率、降本等方面实现新突破？产能落地缓、市场需求起与密集投产

  10月23日，云南国际中标广西华磊新材料有限公司分布式光伏特许经营项目。项目位于广西平果市，规划建设分布式光伏16.5兆瓦，同步融入分布式光伏直流接入电解铝母排4兆瓦及新能源汽车充电桩。项目投运后，预计每年可为广西华磊公司提供绿电1597万千瓦时，节约标准煤约638吨，减少二氧化碳排放量15922吨

  据彭博新能源财经（BNEF）最新发布的《BangladeshPowerSectorattheCrossroads》报告中指出，由于光伏技术成本的不断降低，太阳能将在2025年成为孟加拉国最便宜的能源；到2030年，带有储能电池的太阳能系统(PVS)的平准化电力成本(LCOE)将比新建火力发电厂更便宜。目前，孟加拉国建设公用事业规模太阳能

  自2022年以来，光伏电池技术进入由p向n迭代大潮，TOPCon、HJT、XBC三大技术均有拥趸者。而近期，n型技术路线之争，正因隆基而变得更激烈。9月5日，隆基绿能举行半年报业绩说明会，董事长钟宝申在会上表示，在接下来的5~6年，BC电池会是晶硅电池的绝对主流，未来隆基绿能很多产品都会走向BC技术路线。

  9月4日，广西壮族自治区工业和信息化厅等六部门关于推动能源电子产业高质量发展的实施建议，文件指出，以南宁、北海、梧州、百色等地市为依托建设高效光伏电池片和组件产品集聚区；以南宁、桂林、柳州、梧州为依托建设新型储能电池产业集聚区；以南宁、桂林为核心区域建设光电器件、能源管理器件、数字能源系

  BC技术，无疑是当下光伏行业非常关注的技术路线。当光伏有突出贡献的公司隆基绿能董事长钟宝申提出，未来5-6年，BC类电池将成为晶硅电池的绝对主流，其大量产品都会走向BC路线。此言论一出，市场开始重新审视起BC技术。BC技术的发展历史最早可追溯至48年前。1975年，Schwartz和Lammert首次提出背接触式光伏电池

  光伏行业突发热闹。近日，隆基宣布BC电池将成为晶硅电池的绝对主流，态度明确，大家对BC电池的关注再掀高潮。这次小高潮，更像是当前光伏产业周期与宏观资本周期跌宕共振的一次宣泄，光伏行业近年来占主导的价值观正在受到挑战，从过去几年的“功利主义”向未来一段时间的“精致主义”转变。我们在2023

  2024年1月8日，国家能源局发布打造规范高效的电力业务资质许可电子证照服务体系。深化利企便民强化行业管理国家能源局打造规范高效的电力业务资质许可电子证照服务体系近日，国家能源局印发关于全面实施应用电力业务资质许可电子证照相关工作的通知，对电子证照的应用管理、系统支撑、宣传推广做出了明

  1月6日，烟台市发改委发布光伏发电项目平价上网确认公告，共21个项目，159.82kW。详情如下：按照山东省发展改革委、省能源局《关于推进风电、光伏发电无补贴平价上网项目建设的通知》（鲁发改能源〔2019〕367号）有关要求，经审核烟台诺雅那家居用品有限公司159.82kW分布式光伏发电项目等21个项目符合

  2024年1月5日，工业与信息化部办公厅关于公布2023年度绿色制造名单及试点推行“企业绿码”有关事项的通知。通知显示，为推动制造业高端化、智能化、绿色化发展，加快构建绿色制造和服务体系，经申报单位自愿申报、第三方机构评价、省级工业和信息化主管部门评估确认及专家论证、公示等程序，确定了2023

  企查查显示，近日，泰安中来能源有限公司成立，注册资本500万元。营业范围包含：新兴能源研发技术；光伏设备及元器件制造；太阳能发电技术服务；光伏发电设备租赁；光伏设备及元器件销售；风电场相关系统研发等。企查查股权穿透显示，该公司由中来股份控股公司苏州中来民生能源有限公司全资持股。

  日前，甘肃省电力中长期交易细则（试行）印发。细则指出，绿色电力交易优先组织未纳入国家可再次生产的能源电价附加补助政策范围内的风电和光伏（以下简称“无补贴新能源”）公司参与交易，已纳入国家可再次生产的能源电价附加补助政策范围内的风电和光伏（以下简称“带补贴新能源”）作为补充，依照国家有关要

  日前，内蒙古能源集团400万千瓦新能源项目启动并网发电，分别为巴彦淖尔100万千瓦光储+生态治理项目、四子王旗100万千瓦风储项目、化德县100万千瓦风光储项目和东苏巴彦乌拉100万千瓦风储项目，是4个单体百万千瓦项目。这些项目作为全区首个采用8.5兆瓦大型风机和高效N型570光伏组件的项目，运用数字化

  北极星太阳能光伏网获悉，2023年12月27日，江阴中远海运化工码头分布式屋顶光伏发电项目成功并网发电。据悉，该项目充分的利用江阴中远海运公司办公楼及辅助用房1984㎡屋面安装光伏设备，采用655瓦单晶双面光伏组件共444块，并配备4台三相组串型光伏并网逆变器。年平均发电量达28万千瓦时，每年可节约标

  1月3日，福建省南平市浦城县人民政府公开《仙阳镇人民政府关于进一步规范分布式屋顶光伏发电项目建设的通知》，通知明确了五种严控建设、不得建设分布式屋顶光伏的情况。1、仙阳镇农户分布式屋顶光伏发电项目应建设在镇行政区划内的农民、居民及集体所有房屋屋顶，不得建在国有资产建筑物上。2、耕地、

  1月3日，北京市发展和改革委员会发布关于开展光伏发电项目市级财政补贴申报工作的通知，通知指出，500千瓦以上法人单位项目应安装监测系统，并接入北京市新能源和可再次生产的能源监测平台。原文如下：北京市发展和改革委员会关于开展光伏发电项目市级财政补贴申报工作的通知京发改〔2023〕1920号各区发展改

  2024年1月3日，湖北省发改委发布关于征求工商业分时电价机制有关意见的公告。根据通知，分时电价政策的实施范围暂不作调整，时段划分为：尖峰时段：7月、8月20:00－22:00，其他月份18:00－20:00（共2小时）高峰时段：7月、8月16:00－20：00、22:00－24：00，其他月份16:00－18:00、20:00－24:00（共6小

  1月3日，国家能源局华中监管局印发《湖北源网荷储电力调峰辅助服务市场运营规则》的通知，通知指出，为建立健全电力调峰辅助服务市场机制，发挥市场在资源配置中的决定性作用，保障湖北电力系统安全、稳定、经济运行，促进风电、光伏、水电等清洁能源消纳，制定本规则。本规则适用于湖北省内开展的电力